單晶硅壓力變送器

單晶硅壓力變送器采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內。單晶硅壓力/差壓變送器(Monocrystalline Silicon Pressure Transmitter) 用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力，然后將其轉變成4-20mA HART電流信號輸出，也可與手操器相互通信，通過他們進行參數設定、過程控制。